سنتز نانوهرم‌های SnO2با روش هیدروترمال بر روی بستر سیلیکونی نانوساختار و مطالعه اثر مورفولوژی سیلیکون

نویسندگان

1 1آزمایشگاه بیو نانو الکترونیک بخش مهندسی الکترونیک دانشکده مهندسی، دانشگاه شهید با هنر کرمان، کرمان، ایران

2 2 بخش شیمی ،دانشکده علوم،، دانشگاه شهید با هنر کرمان، کرمان، ایران

چکیده

در این پژوهش، نانوهرم­های اکسید قلع را با روش هیدروترمال در درجه حرارت پایین بر روی دو بستر سیلیکونی ساده و نانوساختار رشد شد. برای نانوساختار کردن بستر سیلیکونی، که اصطلاحا نانوخار سیلیکونی نامیده می­شود، از روش زدایش فاز پلاسما استفاده گردید. مقایسه تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) نانوهرم­های سنتز شده بر روی بستر ساده و هم چنین نانوهرم­های سنتز شده بر روی بسترنانوساختار سیلیکونی تفاوت­های  قابل ملاحظه­ای، از جمله میزان یکنواختی در رشد آن­ها را نشان می­دهد. بنابراین استفاده از بستر های نانوخار سیلیکونی در سنتز نانوساختارهای اکسید قلع فرایند رشد آن­هارا بهبود بخشیده و به کاربردهای گوناگون این ماده در زمینه­های مختلف علمی کمک خواهد­کرد. همچنین در این پزوهش اثر لایه دانه­بندی در میزان رشد نانوهرم­های اکسید قلع بر روی بستر نانو خار سیلیکونی مطالعه گردید.

کلیدواژه‌ها


عنوان مقاله [English]

Synthesis of nanopyramidal SnO2 by hydrothermal method on nanostructured silicon substrate with some study

نویسندگان [English]

  • Fatemeh Sheikhshoaeia 1
  • Mahdiyeh Mehran 1
  • Iran Sheikhshoaie 2
چکیده [English]

In this study, we grew nanopyramidal SnO2 hydrothermally at low temperature on both bare and nanotextured silicon substrates. Plasma etching of silicon is accomplished for the evolution of nanotextures on silicon substrate which are called silicon nanograsses. Comparing Scanning Electron Microscope (SEM) images of the synthesized SnO2 nanopyramids on two bare and nanotextured silicon substrates, reveals that there are considerable differences between growth on these substrates such as better uniformity. Therefore, application of silicon nanograss substrates in the synthesis of SnO2 nanostructures can improve growth process and this promotes various applications of this material in the different science fields. We also survey the effect of seed layer on growth of SnO2 nanopyramid.

کلیدواژه‌ها [English]

  • SnO2 nanopyramid
  • Silicone substrate
  • Silicon nanograss
  • Nanostructure
  • Hydrothermal synthesis
[1] S. M. Vahdat, M. Khavarpour, F. Mohanazadeh, Journal of Applied Chemistry,   9 (2015) 41.   

[2] Y. J. Chen, X. Y. Xue, Y. G. Wang, T. H. Wang, Applied Physics Letters, 87 (2005) 233503.

[3] A. B. Djurisic, Y. Y. Xi, Y. F. Hsu, W. K. Chan, Recent Patents on Nanotechnology, 1 (2007) 121.

[4] M. Mehran, S. Mohajerzadeh, Z. Sanaee, Y. Abdi, Appl. Phys. Lett., 96 (2010) 203101.

[5] A. Sammak, S. Azimi, N. Izadi, B. K. Hosseinieh, S. Mohajerzadeh, J. Microelectromechal Syst., 16 (2007) 912.

[6] M. Mehran, Z. Sanaee, M. Abdolahad, S. Mohajerzadeh, Materials Science in Semiconductor Processing, 14 (2011) 199.

[7] M. Mehran, Z. Sanaee, S. Mohajerzadeh, Micro & Nano Letters J., 5 (2010) 374.

[8] M. Mehran, Z. Kolahdouz, Z. Sanaee, S. Azimi, S. Mohajerzadeh, Eur. Phys. J. Appl. Phys., 55 (2011) 11302.

[9] T. Kida, S. Fujiyama, K. Suematsu, M. Yuasa, K. Shimanoe, The Journal of Chemical Chemistry C, 117 (2013) 17574.

[10] S. Shi, Y. Liu, Y. Chen, J. Zhang, Y. Wang, T. Wang, Sensors and Actuators B, 140 (2009) 426.